直线电机H型平台说明
发布时间：2017-08-21 12:31:06
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文章来源：深圳博智达机器人
导读: H型直线电机平台驱动的直线运动系统，比起传统的旋转电机+丝杠组合结构，直线运动系统具有更高的动态性 能和传动精度，同时代表着直线驱动技术的发展方向。在同步驱动过程中，...
能和传动精度，同时代表着直线驱动技术的发展方向。在同步驱动过程中，横梁的最大扭转角度误差小于90 urad，双
边直线传动的H型运动平台可以提供强大的推力，可以有效避免单边驱动带来的运动滞后和机械振荡。平台基座采用结
构刚度大、平整度高的花岗岩材料，横梁采用工程陶资等轻质、高刚度材料。两端分别与两个相互平行的
直线电机的动
子连接，实现Y方向的双边同步驱动，X方向直线电机的定子安装在横梁上，动子与滑块固接，实现X轴方向的运动。
直线电机驱动的H型平台因其有大的行程范围和高的定位精度，被广泛应用于半导体光刻、微型机械等领城。在实际
应用过程中，由于在制造与安装过程中存在误差，以及工作过程中存在的不确定性扰动等因素的影响，导致即使两个完
全相同的直线电机和伺服系统，也不能完全保证横梁两端的同步运动。因此实现双驱动的高精度同步控制是H型平台的
控制重点和难点。所以，有绝大部分厂商都是做的单边驱动，另一端直接用导轨滑块来确保同步性。深圳
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有限公司设计双边同步控制系统，使用两台相同的直线电机以保证系统具有高速动态同步响应能力，使用并联控制与模
糊逻辑反馈相结合的方法来消除机械耦合的影响，力求减小双边同步控制的误差，从而达到同步控制的效果。
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