「直线电机应用」直线电机辅助3nm芯片工艺进展顺利
发布时间：2019-08-12 11:06:45
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文章来源：深圳博智达机器人
导读: 直线电机辅助3nm芯片工艺进展顺利。上个月中旬，台积电联席主席TS-wei在一次投资者和金融分析师电话会议上表示，台积电3nm芯片制造工艺的发展进展相当顺利，已经开始接触早期客户...
直线电机辅助3nm芯片工艺进展顺利。上个月中旬，台积电联席主席TS-wei在一次投资者和金融分析师电话会议上表示，台积电3nm芯片制造工艺的发展进展相当顺利，已经开始接触早期客户。
根据直线电机系列收集的数据，CC-Wei只透露了台积电在N3节点的技术发展进展顺利，台积电已经评估了所有可能的晶体管结构选择，并为客户提供了合理的解决方案。未提及N3的特性及其与N5相比的优点。
此外，直线电机小系列可以确保台积电3nm节点将使用深紫外（DUV）和极紫外（EUV）光刻设备。由于台积电N5工艺使用14层EUV，相关人员希望使用N3。层数可能更高。
当谈到极端紫外线（EUV）时，直线电机小系列必须提到荷兰ASMA（ASML.O），因为到目前为止，只有ASMA成功地开发、制造和销售了极端紫外线（EUV）设备。据报道，ASMA的主要业务是光刻机，它占光刻机市场的80%以上，在45纳米及以下，并在EUV光刻领域处于垄断地位。
近年来，随着直线电机的迅速发展，它已与光刻设备相联系。目前，在光刻机中使用直线电机的情况也比较普遍。对于上海微电子来说，它是专门从事半导体设备的。研发与制造，产品包括前光刻机、后包装光刻机、平板显示光刻机、测试设备、搬运设备等，以关键为重点，上海微电子多次向我方购买高性能、高性能的产品。博智达直线电机的质量用于光刻机的开发和制造。
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